¤ýź»ý°úÁ¤ ¤ýÀ¯»ç¼® °¨º°
 ¤ýÀΰøÃ³¸® ¤ý±¸¸Å¿ä·É°ú °ü¸®
 
 
Click¢¹ ¨ç À¯»ç¼®ÀÇ Á¾·ù / ¨è À¯»ç¼® °¨º°¹ý / ¨é ÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå
¡æ¨¿ C.V.D¨À HPHT
 
C.V.D(Chemical Vapor Depodition)-È­ÇÐÁõ±â Ä§Âø(öØó·)¹ý
CVD ÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå´Â ½Ê ¼ö ³â ÀüºÎÅÍ °¢Á¾ »ê¾÷¿ë Àåºñ¿¡ ´ÙÀ̾Ƹóµå ÄÚÆÃÀ» ÇÏ´ø Àåºñ·Î Ãâ¹ßÇØ,
Áö±ÝÀº ÄÚÆÃÀÇ µÎ²²¸¦ ¹þ¾î³ª´Â 2mmÀÌ»óÀÇ ÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå Ä§Âø¿¡ ¼º°øÇÔÀ¸·Î¼­ ±âÁ¸ ´ÙÀ̾Ƹóµå
¾÷°èÀÇ ½ºÆ÷Æ®¶óÀÌÆ®¸¦ ÁýÁßÀûÀ¸·Î ¹Þ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ±¹³»¿¡´Â ¾ÆÁ÷±îÁö ÀÌ·¯ÇÑ CVD ÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå°¡
¼öÀԵǰí ÀÖÁö ¾Ê°í, °¨º° ¿¬±¸µµ ÁøÇàµÈ ¹Ù ¾øÁö¸¸ ¼¼°èÀûÀÎ º¸¼®°¨Á¤¿øµéÀº CVD ÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå °¨
º°ÀÌ ±×¸® ¾î·ÆÁö ¾Ê´Ù°í ¸»Çϰí ÀÖ½À´Ï´Ù.
ÇÏÁö¸¸ ³»Æ÷¹°ÀÌ ÀüÇô ¾ø´Â °í ¼øµµÀÇ CVD ÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå°¡ ¶ó¿îµå ºê¸±¸®¾ðÆ®·Î ¿¬¸¶µÇ¾î ÆÇ¸Å°¡
½ÃÀ۵ȴٸé ÇâÈÄ ´ÙÀ̾Ƹóµå ½ÃÀå¿¡ ¾î¶°ÇÑ ÈÄ ÆøÇ³À» ¸ô°í ¿ÃÁö ¸ð¸¦ ÀÏÀÔ´Ï´Ù.
......................................................................................................................................................................................
 
1. C.V.D ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå¶õ?
°í¼øµµ º¸¼®¿ë µî±ÞÀÇ CVD ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµåµé. 0.44ctÀÇ D/SI1 ·ÎÁîÄÆ ´ÙÀ̾Ƹóµå(¨ç)¿Í,
0.82ct E/VVS1 ¶ó¿îµå ºê¸±¸®¾ðÆ® ÄÆ(¨è), 0.85ct ÇÎÅ©ÇÁ¶ó¿î/VVS1 ´ÙÀ̾Ƹóµå(¨é)
 
C.V.D(Chemical Vapor Deposition. ÀÌÇÏ CVD)¶ó´Â ¿ë¾î´Â ¸» ±×´ë·Î È­ÇÐ Áõ±â Ä§Âø(öØó·)¹ýÀ» ÀÌ
¿ëÇÑ ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå Á¦Á¶¹ýÀ» ¶æÇÑ´Ù.
À̴ ź¼Ò¿øÀÚ¸¦ ±âü»óÅ·Π¸¸µé¾î Áø°ø»óÅ¿¡¼­ Ä§Âø½ÃŰ´Â °ÍÀ¸·Î Áø°ø»óÅÂÀÇ °ø°£¿¡ ź¼ÒÁõ±â¸¦
³Ö°í ¿­À» °¡ÇÏ¿© ÇöóÁ ºÐÀ§±â¸¦ ¸¸µé¾îÁÖ¸é, ź¼Ò ±¸¸§ÀÌ ´ÙÀ̾Ƹóµå ¿øÀÚ¸¦ ºñó·³ »Ñ·Á ´ÙÀ̾Æ
¸óµå·Î ¼ºÀåÇÏ°Ô µÇ´Â °ÍÀÌ´Ù.
±âÁ¸ °í¿Â°í¾Ð(HPHT) ÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå Á¦Á¶½Ãº¸´Ù ³·Àº ¾Ð·Â¿¡¼­ ¸Þź, ¾Æ¼¼Æ¿·», ÀÏ»êȭź¼Ò, ¸ÞÆ¿¾Ë
ÄÝ, ¿¡Æ¿¾ËÄÝ, ¾Æ¼¼Åæ µîÀÇ Åº¼Ò¿øÀÚ¸¦ ÇÔÀ¯Çϰí ÀÖ´Â È­ÇÕ¹°À» ¼ö¼Ò·Î Èñ¼®ÇÑ È¥ÇÕ°¡½º°¡ »ç¿ëµÇ¸ç
ÀÌ·± È¥ÇÕ°¡½º¸¦ ¿­ ¶Ç´Â ÀüÀÚ·Î ºÐÇØ ¿©°úÇÔ¿¡ µû¶ó ¿©·¯ Ȱ¼º °¡½º°¡ »ý¼ºµÇ¾î ÇöóÁ »óŸ¦ ÀÌ
·ç°í, À̰ÍÀÌ Ä§ÂøµÇ¾î ´ÙÀ̾Ƹóµå¸¦ ¹Ú¸·(ÚÝØ¯) ÇüÅ·ΠÇÕ¼ºÇØ ³»´Â °ÍÀÌ´Ù.
......................................................................................................................................................................................
 
2. C.V.D ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå Á¦Á¶ÀÇ Çö½ÃÁ¡
¼¼°èÀûÀ¸·Î CVD ÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå Á¦Á¶¿¡ °¡Àå ¾Õ¼­°í ÀÖ´Â °÷Àº ¹Ì±¹ÀÇ ¾ÆÆú·Î»ç¿Í Ä«³×±â ¿¬±¸¼ÒÀÎ
°ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁö°í ÀÖ´Ù. ±¹³»¿¡µµ °ú°Å KIST¸¦ Áß½ÉÀ¸·Î ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå ¹Ú¸· Çʸ§(ÄÚÆÃ)µî¿¡ ´ëÇÑ °³
¹ß ¿¬±¸ ¼º°ú°¡ ¹ßÇ¥µÇ±âµµ ÇßÁö¸¸ Áö±ÝÀº ±× ¿¬±¸°¡ Áß´ÜµÈ »óÅ´Ù. ÇÏÁö¸¸ ¹Ì±¹À» ºñ·ÔÇØ ÀϺ»°ú Áß
±¹, ´ë¸¸¿¡¼­´Â ±× ¿¬±¸°¡ »ó´çÈ÷ ÁøÃ´µÇ°í ÀÖÀ¸¸ç ÀϺ»¿¡¼­´Â CVD Àåºñ¸¦ ¸¸µé¾î ÆÄ´Â ȸ»çµµ ¿©·¯
°÷ÀÌ´Ù.
ÀÌ ´ÙÀ̾Ƹóµå´Â ´ç½Ã º¸¼®À¸·Î »ç¿ëµÇ±â¿¡´Â ³Ê¹« ¾ã¾Æ ºÎÀûÇÕÇ߱⠶§¹®¿¡ ÀüÀÚ, ±¤ÇÐ µî »ê¾÷¿ëÀ¸·Î
¸¸ »ç¿ëµÇ¾îÁ³´Ù. ÇÏÁö¸¸ ÃÖ±Ù CVD ±â¼ú·Î °³¹ßµÈ ÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå´Â º¸¼®À¸·Î »ç¿ë°¡´ÉÇÑ 2mm µÎ²²
¸¦ ÃʰúÇß´Ù.
»ó¾÷Àû CVDÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå »ý»ê¿¡ °¡Àå ¾Õ¼± °÷À¸·Î´Â ¹Ì±¹ÀÇ ¾ÆÆú·Î»ç°¡ ÀÖÀ¸¸ç, ÀÌ¹Ì 98³â¿¡ µÎ²²
0.5mm ÀÇ CVDÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå¸¦ »ý»êÇÑ ¹Ù ÀÖ°í, º¸¼®¿ë CVDÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå¸¦ °ð »ý»êÇÏ¿© ÆÇ¸Å¿¡
µé¾î°¥ °ÍÀ̶ó°í ¾Ë·ÁÁö°í ÀÖ´Ù.
  
CVDÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå°¡ ÄÚÆÃµÈ °¢Á¾¿ö½ÌÅÏÄ«³×±â ¿¬±¸¼Ò¿¡¼­ ¼ºÀåÀ» ´õ¿í
¿þÀÌÆÛ¿Í »ê¾÷¿ë Àåºñµé»¡¸® ÇϱâÀ§ÇØ »ç¿ëÇÑ Á¾ÀÚ(SEED)
 ´ÙÀ̾Ƹóµå(Áß¾Ó)¿Í ¸Å¿ìºü¸¥(~ 150¥ìm/hr)
 ¼Óµµ·Î ¼ºÀå½ÃŲ ´Ü°áÁ¤CVD ´ÙÀ̾Ƹóµå(ÁÂ, ¿ì)
 
ÀÌ·¯ÇÑ CVDÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå°¡ °³¹ßµÈ °ÍÀº ÀÌ¹Ì °ú°ÅÇüÀÌÁö¸¸ ÇöÀçÀÇ °úÇбâ¼úÀº °ú°Å 2mmµÎ²²¸¦
³ÑÀ» ¼ö ¾ø¾ú´ø CVDÇÕ¼º´ÙÀ̾ƸóµåÀÇ µÎ²²¸¦ ȹ±âÀûÀ¸·Î ´Ã·È°í, ÃÖ±Ù º¸µµÀÚ·á¿¡ ÀÇÇÏ¸é ¹Ì±¹ Ä«³×
±â ¿¬±¸¼ÒÀÇ ¿¬±¸ ¼º°ú°¡ ¹ßÇ¥µÇ¾î ¼¼°è¸¦ ³î¶ó°Ô Çϰí ÀÖ´Ù.
¹Ù·Î ±× ¼ºÀå ¼Óµµ¿Í ¼ºÀå µÎ²²¸¦ ȹ±âÀûÀ¸·Î ¹ßÀü½ÃŲ °ÍÀÌ ±×°ÍÀε¥, °ú°Å ½Ã°£´ç 100¸¶ÀÌÅ©·Î ¹ÌÅÍ
¿´´ø ¼ºÀå¼Óµµ¸¦ ½Ã°£´ç 1mm·Î ´Ã·È´Ù´Â °ÍÀÌ´Ù.
......................................................................................................................................................................................
 
3. C.V.D ÇÕ¼º ´ÙÀ̾ƸóµåÀÇ Æ¯¼º
CVD ÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå´Â õ¿¬ ´ÙÀ̾Ƹóµå Type IIa ¿Í ºñ½ÁÇÑ Æ¯¼ºÀ» °¡Áö°í ÀÖ¾î ÇÕ¼º ÈÄ °í¿Â°í¾Ð
(HPHT)󸮸¦ ÇÏ°Ô µÇ¸é õ¿¬°ú ¸¶Âù°¡Áö·Î ±× »ö»óÀÇ º¯È­±îÁöµµ ±â´ëÇÒ ¼ö Àִٴ Ư¼ºÀÌ ÀÖ´Â °Í
À¸·Î ¹àÇôÁö°í ÀÖ´Ù.
ƯÈ÷ Áö±Ý±îÁö´Â ´Ù°áÁ¤Áú(Polycrystalline) ¹Ú¸· ÇüÅ·ΠCVD ÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå¸¦ ÇÕ¼º½ÃÄÑ ¿ÔÁö¸¸ ¾Æ
Æú·Î ´ÙÀ̾Ƹóµå»ç ¿¡¼­´Â ´Ù°áÁ¤ÁúÀÌ ¾Æ´Ñ ´Ü°áÁ¤(Single crystal)À» ÇÕ¼ºÇÔÀ¸·Î¼­ º¸´Ù Çâ»óµÈ º¸¼®
¿ë ǰÁúÀÇ ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå¸¦ ¹ßÇ¥ÇÏ°Ô µÈ °ÍÀÌ´Ù.
  
ÁÖ»çÀüÀÚÇö¹Ì°æ (SEM:scanning electron ¸¶ÀÌÅ©·Î¿þÀ̺ê ÇöóÁ(Micro wave
microscope)À¸·Î ÃÔ¿µÇÑ CVD ÇÕ¼º´ÙÀ̾ƸóµåPlasma)·Î ¼ºÀå½ÃŲ ½Ç¸®ÄÜ Ä«º¸³ªÀÌÆ®
¸¶ÀÌÅ©·Î¿þÀ̺ê ÇöóÁ(Micro wave °áÁ¤µé
Plasma)·Î ¼ºÀå½ÃŲ °ÍÀ¸·Î ÀÏÁ¤ÇÏ°Ô ¹è¿­µÈ  
Ä«º» ³ª³ëÆ©ºê(Carbon Nanotube)°¡ °üÂûµÈ´Ù. 
 
Áö±Ý±îÁö ¾Ë·ÁÁø CVD ÇÕ¼º´ÙÀ̾ƸóµåÀÇ º¸¼®ÇÐÀû ¹× ºÐ±¤ÇÐÀû Ư¼ºÀº Àû¿Ü¼± ºÐ±¤±¤µµ°è(FT-IR)°á
°ú Type¥±a ·Î °Ë»çµÆÀ¸¸ç, ¹«»ö(DÄ÷¯~)¿¡¼­ ¿¬ÇÑ °¥»ö¿¡¼­ £Àº °¥»ö, µî±ÞÀº VVS1~SI2±îÁöÀÇ µî
±ÞÀ» °¡Áö°í ÀÖ´Ù. Áö³­ 2004³â °¡À» Çѱ¹À» ¹æ¹®ÇÑ ¹Ì±¹ GIA New York ¿¬±¸¼Ò Wuyi Wang ¹Ú»ç´Â
GIA KOREA Ãѵ¿¹®È¸ ¼¼¹Ì³ª¿¡ Âü¼®, ¡°CVD ÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå´Â ¼öÆòÇÑ ¼ºÀå¶óÀÎÀÌ ´ëºÎºÐ °üÂûµÇ¸ç
°¨º° Æ÷ÀÎÆ®·Î »ï±â¿¡ ÃæºÐÇÏ´Ù¡± ¶ó´Â °ßÇØ¸¦ ¹àÈ÷±âµµ Çß´Ù.
......................................................................................................................................................................................
 
4. C.V.D ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå »ý»êÀåºñ
  
¸¶ÀÌÅ©·ÎÆÄ ÇöóÁ¹ý Àåºñµé. ¸¶ÀÌÅ©·ÎÆÄ ¹ßÁø±â¿¡ 2.45 GHzÀÇ ¸¶ÀÌÅ©·ÎÆÄ¸¦ ÅëÇØ °¡½º Áß¿¡ Çöó
Á¸¦ ¹ß»ý½Ã۰í, ±× ÇöóÁÁß¿¡ ³õÀÎ ½ºÅ×ÀÌÁöÀ§¿¡ ´ÙÀ̾Ƹóµå¸¦ ÇÕ¼ºÇÏ´Â Àåºñ. ¿ÞÂÊÀåºñ´Â ½Ç
Çè½Ç ¿¬±¸¿ëÀÌ¸ç ¿À¸¥ÂÊÀº »ó¾÷¿ë CVD ÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå¸¦ »ý»êÇÏ´Â Àåºñ.
......................................................................................................................................................................................
 
5. ´Ù¾çÇÑ ´Ü°áÁ¤ C.V.D ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµåµé
  
¹Ì±¹ Carnegie¿¬±¸¼Ò¿¡¼­ °í¼Ó¼ºÀå(high-growth) »ý»êÇÑ ´Ù¾çÇÑ ´Ü°áÁ¤ CVD ÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµåµé.
 
¾Æ·¡ÂÊÀÇ 4 x 4 x 1.5 mm©ø »çÀÌÁîÀÇ À°¸é°í¼Ó¼ºÀå½ÃŲ 10ij·µ CVD ÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå·ÎºÎÅÍ
ü °áÁ¤(¨ç). À§¿¡ ¼ºÀå½ÃŲ ´Ü°áÁ¤ ´ÙÀÌ·¹ÀÌÀú ÄÆÆÃµÈ 12 mm (1/2 inch) 5ij·µ »çÀÌÁîÀÇ
¾Æ¸óµå ºí·Ï(¨è)CVD ÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå.