| C.V.D(Chemical Vapor Depodition)-ÈÇÐÁõ±â Ä§Âø(öØó·)¹ý |
| CVD
ÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå´Â ½Ê ¼ö ³â ÀüºÎÅÍ °¢Á¾ »ê¾÷¿ë Àåºñ¿¡ ´ÙÀ̾Ƹóµå ÄÚÆÃÀ» ÇÏ´ø Àåºñ·Î Ãâ¹ßÇØ, |
| Áö±ÝÀº ÄÚÆÃÀÇ µÎ²²¸¦
¹þ¾î³ª´Â 2mmÀÌ»óÀÇ ÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå Ä§Âø¿¡ ¼º°øÇÔÀ¸·Î¼ ±âÁ¸ ´ÙÀ̾Ƹóµå |
| ¾÷°èÀÇ ½ºÆ÷Æ®¶óÀÌÆ®¸¦ ÁýÁßÀûÀ¸·Î ¹Þ°í
ÀÖ½À´Ï´Ù. ±¹³»¿¡´Â ¾ÆÁ÷±îÁö ÀÌ·¯ÇÑ CVD ÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå°¡ |
| ¼öÀԵǰí ÀÖÁö ¾Ê°í, °¨º° ¿¬±¸µµ ÁøÇàµÈ ¹Ù ¾øÁö¸¸
¼¼°èÀûÀÎ º¸¼®°¨Á¤¿øµéÀº CVD ÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå °¨ |
| º°ÀÌ ±×¸® ¾î·ÆÁö ¾Ê´Ù°í ¸»Çϰí ÀÖ½À´Ï´Ù. |
| ÇÏÁö¸¸
³»Æ÷¹°ÀÌ ÀüÇô ¾ø´Â °í ¼øµµÀÇ CVD ÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå°¡ ¶ó¿îµå ºê¸±¸®¾ðÆ®·Î ¿¬¸¶µÇ¾î ÆÇ¸Å°¡ |
| ½ÃÀ۵ȴٸé ÇâÈÄ ´ÙÀ̾Ƹóµå
½ÃÀå¿¡ ¾î¶°ÇÑ ÈÄ ÆøÇ³À» ¸ô°í ¿ÃÁö ¸ð¸¦ ÀÏÀÔ´Ï´Ù. |
| ...................................................................................................................................................................................... |
| |
| 1. C.V.D ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå¶õ? |
 |
| °í¼øµµ
º¸¼®¿ë µî±ÞÀÇ CVD ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµåµé. 0.44ctÀÇ D/SI1 ·ÎÁîÄÆ ´ÙÀ̾Ƹóµå(¨ç)¿Í, |
| 0.82ct
E/VVS1 ¶ó¿îµå ºê¸±¸®¾ðÆ® ÄÆ(¨è), 0.85ct ÇÎÅ©ÇÁ¶ó¿î/VVS1
´ÙÀ̾Ƹóµå(¨é) |
| |
| C.V.D(Chemical Vapor Deposition.
ÀÌÇÏ CVD)¶ó´Â ¿ë¾î´Â ¸» ±×´ë·Î ÈÇÐ Áõ±â Ä§Âø(öØó·)¹ýÀ» ÀÌ |
| ¿ëÇÑ ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå Á¦Á¶¹ýÀ» ¶æÇÑ´Ù. |
| ÀÌ´Â
ź¼Ò¿øÀÚ¸¦ ±âü»óÅ·Π¸¸µé¾î Áø°ø»óÅ¿¡¼ Ä§Âø½ÃŰ´Â °ÍÀ¸·Î Áø°ø»óÅÂÀÇ °ø°£¿¡ ź¼ÒÁõ±â¸¦ |
| ³Ö°í ¿À» °¡ÇÏ¿© ÇöóÁ
ºÐÀ§±â¸¦ ¸¸µé¾îÁÖ¸é, ź¼Ò ±¸¸§ÀÌ ´ÙÀ̾Ƹóµå ¿øÀÚ¸¦ ºñó·³ »Ñ·Á ´ÙÀÌ¾Æ |
| ¸óµå·Î ¼ºÀåÇÏ°Ô µÇ´Â °ÍÀÌ´Ù. |
| ±âÁ¸
°í¿Â°í¾Ð(HPHT) ÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå Á¦Á¶½Ãº¸´Ù ³·Àº ¾Ð·Â¿¡¼ ¸Þź, ¾Æ¼¼Æ¿·», ÀÏ»êÈź¼Ò, ¸ÞÆ¿¾Ë |
| ÄÝ, ¿¡Æ¿¾ËÄÝ,
¾Æ¼¼Åæ µîÀÇ Åº¼Ò¿øÀÚ¸¦ ÇÔÀ¯Çϰí ÀÖ´Â ÈÇÕ¹°À» ¼ö¼Ò·Î Èñ¼®ÇÑ È¥ÇÕ°¡½º°¡ »ç¿ëµÇ¸ç |
| ÀÌ·± È¥ÇÕ°¡½º¸¦ ¿ ¶Ç´Â ÀüÀÚ·Î
ºÐÇØ ¿©°úÇÔ¿¡ µû¶ó ¿©·¯ Ȱ¼º °¡½º°¡ »ý¼ºµÇ¾î ÇöóÁ »óŸ¦ ÀÌ |
| ·ç°í, À̰ÍÀÌ Ä§ÂøµÇ¾î ´ÙÀ̾Ƹóµå¸¦ ¹Ú¸·(ÚÝØ¯)
ÇüÅ·ΠÇÕ¼ºÇØ ³»´Â °ÍÀÌ´Ù. |
| ...................................................................................................................................................................................... |
| |
| 2.
C.V.D ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå Á¦Á¶ÀÇ Çö½ÃÁ¡ |
| ¼¼°èÀûÀ¸·Î CVD ÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå Á¦Á¶¿¡ °¡Àå ¾Õ¼°í ÀÖ´Â
°÷Àº ¹Ì±¹ÀÇ ¾ÆÆú·Î»ç¿Í Ä«³×±â ¿¬±¸¼ÒÀÎ |
| °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁö°í ÀÖ´Ù. ±¹³»¿¡µµ °ú°Å KIST¸¦ Áß½ÉÀ¸·Î ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå
¹Ú¸· Çʸ§(ÄÚÆÃ)µî¿¡ ´ëÇÑ °³ |
| ¹ß ¿¬±¸ ¼º°ú°¡ ¹ßÇ¥µÇ±âµµ ÇßÁö¸¸ Áö±ÝÀº ±× ¿¬±¸°¡ Áß´ÜµÈ »óÅ´Ù. ÇÏÁö¸¸ ¹Ì±¹À»
ºñ·ÔÇØ ÀϺ»°ú Áß |
| ±¹, ´ë¸¸¿¡¼´Â ±× ¿¬±¸°¡ »ó´çÈ÷ ÁøÃ´µÇ°í ÀÖÀ¸¸ç ÀϺ»¿¡¼´Â CVD Àåºñ¸¦ ¸¸µé¾î ÆÄ´Â ȸ»çµµ
¿©·¯ |
| °÷ÀÌ´Ù. |
| ÀÌ ´ÙÀ̾Ƹóµå´Â ´ç½Ã º¸¼®À¸·Î »ç¿ëµÇ±â¿¡´Â ³Ê¹« ¾ã¾Æ ºÎÀûÇÕÇß±â
¶§¹®¿¡ ÀüÀÚ, ±¤ÇÐ µî »ê¾÷¿ëÀ¸·Î |
| ¸¸ »ç¿ëµÇ¾îÁ³´Ù. ÇÏÁö¸¸ ÃÖ±Ù CVD ±â¼ú·Î °³¹ßµÈ ÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå´Â º¸¼®À¸·Î
»ç¿ë°¡´ÉÇÑ 2mm µÎ²² |
| ¸¦ ÃʰúÇß´Ù. |
| »ó¾÷Àû CVDÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå »ý»ê¿¡ °¡Àå ¾Õ¼±
°÷À¸·Î´Â ¹Ì±¹ÀÇ ¾ÆÆú·Î»ç°¡ ÀÖÀ¸¸ç, ÀÌ¹Ì 98³â¿¡ µÎ²² |
| 0.5mm ÀÇ CVDÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå¸¦ »ý»êÇÑ ¹Ù ÀÖ°í,
º¸¼®¿ë CVDÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå¸¦ °ð »ý»êÇÏ¿© ÆÇ¸Å¿¡ |
| µé¾î°¥ °ÍÀ̶ó°í ¾Ë·ÁÁö°í ÀÖ´Ù. |
| | |  |  | | CVDÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå°¡
ÄÚÆÃµÈ °¢Á¾ | ¿ö½ÌÅÏÄ«³×±â ¿¬±¸¼Ò¿¡¼ ¼ºÀåÀ» ´õ¿í | | ¿þÀÌÆÛ¿Í »ê¾÷¿ë Àåºñµé | »¡¸®
ÇϱâÀ§ÇØ »ç¿ëÇÑ Á¾ÀÚ(SEED) | | | ´ÙÀ̾Ƹóµå(Áß¾Ó)¿Í ¸Å¿ìºü¸¥(~ 150¥ìm/hr)
| | | ¼Óµµ·Î ¼ºÀå½ÃŲ ´Ü°áÁ¤CVD ´ÙÀ̾Ƹóµå(ÁÂ, ¿ì) |
|
| |
| ÀÌ·¯ÇÑ
CVDÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå°¡ °³¹ßµÈ °ÍÀº ÀÌ¹Ì °ú°ÅÇüÀÌÁö¸¸ ÇöÀçÀÇ °úÇбâ¼úÀº °ú°Å 2mmµÎ²²¸¦ |
| ³ÑÀ» ¼ö ¾ø¾ú´ø CVDÇÕ¼º´ÙÀ̾ƸóµåÀÇ
µÎ²²¸¦ ȹ±âÀûÀ¸·Î ´Ã·È°í, ÃÖ±Ù º¸µµÀÚ·á¿¡ ÀÇÇÏ¸é ¹Ì±¹ Ä«³× |
| ±â ¿¬±¸¼ÒÀÇ ¿¬±¸ ¼º°ú°¡ ¹ßÇ¥µÇ¾î ¼¼°è¸¦ ³î¶ó°Ô
Çϰí ÀÖ´Ù. |
| ¹Ù·Î ±× ¼ºÀå ¼Óµµ¿Í ¼ºÀå µÎ²²¸¦ ȹ±âÀûÀ¸·Î ¹ßÀü½ÃŲ °ÍÀÌ ±×°ÍÀε¥, °ú°Å ½Ã°£´ç 100¸¶ÀÌÅ©·Î
¹ÌÅÍ |
| ¿´´ø ¼ºÀå¼Óµµ¸¦ ½Ã°£´ç 1mm·Î ´Ã·È´Ù´Â °ÍÀÌ´Ù. |
| ...................................................................................................................................................................................... |
| |
| 3. C.V.D ÇÕ¼º ´ÙÀ̾ƸóµåÀÇ Æ¯¼º |
| CVD
ÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå´Â õ¿¬ ´ÙÀ̾Ƹóµå Type IIa ¿Í ºñ½ÁÇÑ Æ¯¼ºÀ» °¡Áö°í ÀÖ¾î ÇÕ¼º ÈÄ °í¿Â°í¾Ð |
| (HPHT)󸮸¦
ÇÏ°Ô µÇ¸é õ¿¬°ú ¸¶Âù°¡Áö·Î ±× »ö»óÀÇ º¯È±îÁöµµ ±â´ëÇÒ ¼ö Àִٴ Ư¼ºÀÌ ÀÖ´Â °Í |
| À¸·Î ¹àÇôÁö°í ÀÖ´Ù. |
| ƯÈ÷
Áö±Ý±îÁö´Â ´Ù°áÁ¤Áú(Polycrystalline) ¹Ú¸· ÇüÅ·ΠCVD ÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå¸¦ ÇÕ¼º½ÃÄÑ ¿ÔÁö¸¸ ¾Æ |
| Æú·Î
´ÙÀ̾Ƹóµå»ç ¿¡¼´Â ´Ù°áÁ¤ÁúÀÌ ¾Æ´Ñ ´Ü°áÁ¤(Single crystal)À» ÇÕ¼ºÇÔÀ¸·Î¼ º¸´Ù Çâ»óµÈ º¸¼® |
| ¿ë ǰÁúÀÇ
ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå¸¦ ¹ßÇ¥ÇÏ°Ô µÈ °ÍÀÌ´Ù. |
| | |  |  | | ÁÖ»çÀüÀÚÇö¹Ì°æ
(SEM:scanning electron | ¸¶ÀÌÅ©·Î¿þÀ̺ê ÇöóÁ(Micro wave | | microscope)À¸·Î
ÃÔ¿µÇÑ CVD ÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå | Plasma)·Î ¼ºÀå½ÃŲ ½Ç¸®ÄÜ Ä«º¸³ªÀÌÆ® | | ¸¶ÀÌÅ©·Î¿þÀ̺ê
ÇöóÁ(Micro wave | °áÁ¤µé | | Plasma)·Î ¼ºÀå½ÃŲ °ÍÀ¸·Î
ÀÏÁ¤ÇÏ°Ô ¹è¿µÈ | | | Ä«º» ³ª³ëÆ©ºê(Carbon Nanotube)°¡ °üÂûµÈ´Ù. | |
|
| |
| Áö±Ý±îÁö ¾Ë·ÁÁø CVD ÇÕ¼º´ÙÀ̾ƸóµåÀÇ º¸¼®ÇÐÀû ¹× ºÐ±¤ÇÐÀû Ư¼ºÀº
Àû¿Ü¼± ºÐ±¤±¤µµ°è(FT-IR)°á |
| °ú Type¥±a ·Î °Ë»çµÆÀ¸¸ç, ¹«»ö(DÄ÷¯~)¿¡¼ ¿¬ÇÑ °¥»ö¿¡¼ £Àº °¥»ö,
µî±ÞÀº VVS1~SI2±îÁöÀÇ µî |
| ±ÞÀ» °¡Áö°í ÀÖ´Ù. Áö³ 2004³â °¡À» Çѱ¹À» ¹æ¹®ÇÑ ¹Ì±¹ GIA New York
¿¬±¸¼Ò Wuyi Wang ¹Ú»ç´Â |
| GIA KOREA Ãѵ¿¹®È¸ ¼¼¹Ì³ª¿¡ Âü¼®, ¡°CVD ÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå´Â ¼öÆòÇÑ
¼ºÀå¶óÀÎÀÌ ´ëºÎºÐ °üÂûµÇ¸ç |
| °¨º° Æ÷ÀÎÆ®·Î »ï±â¿¡ ÃæºÐÇÏ´Ù¡± ¶ó´Â °ßÇØ¸¦ ¹àÈ÷±âµµ Çß´Ù. |
| ...................................................................................................................................................................................... |
| |
| 4. C.V.D ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå »ý»êÀåºñ |
|
| ¸¶ÀÌÅ©·ÎÆÄ
ÇöóÁ¹ý Àåºñµé. ¸¶ÀÌÅ©·ÎÆÄ ¹ßÁø±â¿¡ 2.45 GHzÀÇ ¸¶ÀÌÅ©·ÎÆÄ¸¦ ÅëÇØ °¡½º Áß¿¡ Çöó |
| Á¸¦
¹ß»ý½Ã۰í, ±× ÇöóÁÁß¿¡ ³õÀÎ ½ºÅ×ÀÌÁöÀ§¿¡ ´ÙÀ̾Ƹóµå¸¦ ÇÕ¼ºÇÏ´Â Àåºñ. ¿ÞÂÊÀåºñ´Â ½Ç |
| Çè½Ç
¿¬±¸¿ëÀÌ¸ç ¿À¸¥ÂÊÀº »ó¾÷¿ë CVD ÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå¸¦ »ý»êÇÏ´Â Àåºñ. |
| ...................................................................................................................................................................................... |
| |
| 5.
´Ù¾çÇÑ ´Ü°áÁ¤ C.V.D ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµåµé |
|
| ¹Ì±¹
Carnegie¿¬±¸¼Ò¿¡¼ °í¼Ó¼ºÀå(high-growth) »ý»êÇÑ ´Ù¾çÇÑ ´Ü°áÁ¤ CVD ÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµåµé. |
| |  | | ¾Æ·¡ÂÊÀÇ
4 x 4 x 1.5 mm©ø »çÀÌÁîÀÇ À°¸é | °í¼Ó¼ºÀå½ÃŲ 10ij·µ CVD ÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå·ÎºÎÅÍ | | ü
°áÁ¤(¨ç). À§¿¡ ¼ºÀå½ÃŲ ´Ü°áÁ¤ ´ÙÀÌ | ·¹ÀÌÀú ÄÆÆÃµÈ 12 mm (1/2 inch) 5ij·µ »çÀÌÁîÀÇ | | ¾Æ¸óµå
ºí·Ï(¨è) | CVD ÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå. |
|